紫外线灯检测应用

路阳除了推出新一代轻巧机型可供设备管道间之清洁管理外，另推出LUYOR-365和LPX-365高强度表面检查灯，可供工作对象清洁管理之用。

路阳的紫光微粒检出机系利用的UV灯源，透过滤光片过滤产生出介于295nm 到 420nm波长的紫外光。该波段针对可能具有荧光成分的尘屑（如PCB之纤维、树酯…等）、水渍、油渍及一些容易静电吸附的异物，具有很好的辨识效果，作业员可轻易用眼睛辨视出来，并透过无尘布的擦拭而达到清洁之目的。

由于业者常利用紫光微粒检出机来检查大型设备的落尘状况，但是因为部分机台内部管道狭窄，人员不易进出，故希望能缩小机台的重量或是体积。 有鉴于此，路阳日前正式推出轻巧型手电筒式紫光微粒检出机，可大幅提高使用之方便性。据了解，该新机型除沿用颇受好评锂电模块，另提供座充及机台直接充电两种选择。使用者不必担心机台使用到一半而电力耗尽，可迅速作备份锂电模块之更换。

除此之外，路阳全新推出LP-40PY表面检查灯有别于黄绿光微粒检出机，专门适用于如晶圆、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光学玻璃等工作对象检查。LP-40PY表面检查灯利用500nm以上眼睛感觉舒服的波段，来做particle及刮伤的判别检查。 操作者长时间操作对眼睛并不造成负担，也不容易感到疲倦。

路阳表示，由于客户可分别利用LUYOR-365紫光微粒检出机及LP-40PY表面检查灯做设备及工作对象清洁度管理，进而提高制程良率。因此目前该公司的产品已获得国内各半导体、PCB、LCD及光电大厂广泛采用。

微粒检出机就是适应工业越来越高的环境要求而研发生产的高科技表面污染检查设备，它的应用解决了企业制程环境适时控制问题，受到大量工艺及制程工程师和企业主的欢迎，在提升产品品质上也开始扮演重要角色，因而也受到相关品质部门人员的欢迎。近年来微粒检查机越来越广泛的应用于工业电子及生物医药无尘室环境控制，其主要作用是能地将肉眼不可见之微粒检出及可视化呈现，其适合于工业管理者对无尘室的适时检查（手持式表面检查灯），也可用于工业制程环境的改善和品质控制管理（桌上型表面检查灯）。

根据不同的制程要求有紫光、绿光及白光灯，实践证明UV表面微粒检查机对对曝光机; 显影机、蚀刻、黄光及偏光板贴附机台效果为显著。UV光是使用用人体无害的 UVA 波长: 365nm ，对於制程机台 or Parts Cleaner 机台上之有机物质，油渍、水渍、 带静电Paricle、毛屑、纤维、胶类物质Particle皆可观察。它们的应用有利于提高环境要求，改善无尘室管理及更地控制，符合工业发展的潮流。较无法观察金属铁屑、玻璃及白底的地方，需强光或换一个较暗的背景。